圧力・荷重の専門メーカー

圧力・荷重の専門メーカー 株式会社バルコム(VALCOM)

半導体・電子関連の用途例

各種圧力(供給/排ガス・大気圧復帰・リーク・洗浄)・真空圧・
および各種成形荷重の管理(表面・研磨・組立)

各種装置の圧力監視(例、エッチング/CVDなど)

各種装置の圧力監視(例、エッチング/CVDなど)
  • 1供給ガス圧監視
  • 2ガスパネル内配管リーク確認
  • 3チャンバー内真空到達確認
  • 4チャンバー内大気圧復帰確認
  • 5ターボポンプ切換用
    真空圧確認
  • 6排ガス処理装置圧力監視

洗浄水の吐出圧

洗浄装置真空乾燥圧力管理

純水の圧力監視

半導体前工程の研磨時の荷重制御

半導体前工程の研磨時の荷重制御

ロードセル

指示計

後工程成形時の荷重監視

後工程成形時の荷重監視

ロードセル

指示計

各種ディスクの表面研磨時の荷重制御

各種ディスクの表面研磨時の荷重制御

ロードセル

指示計

各種電子部品のプレス荷重監視