半導体・電子関連の用途例
各種圧力（供給／排ガス・大気圧復帰・リーク・洗浄）・真空圧・
および各種成形荷重の管理（表面・研磨・組立）
各種装置の圧力監視（例、エッチング／CVDなど）
- 1供給ガス圧監視
- 2ガスパネル内配管リーク確認
- 3チャンバー内真空到達確認
- 4チャンバー内大気圧復帰確認
- 5ターボポンプ切換用
真空圧確認 - 6排ガス処理装置圧力監視
洗浄水の吐出圧
洗浄装置真空乾燥圧力管理
純水の圧力監視
半導体前工程の研磨時の荷重制御
後工程成形時の荷重監視
各種ディスクの表面研磨時の荷重制御
各種電子部品のプレス荷重監視
