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半导体及电子行业用途示例
各种压力(供给/排气、大气压恢复、泄漏、清洗)、
真空压以及各种成型载荷的控制(表面、研磨、组装)
各种装置的压力监控(例如蚀刻/CVD等)
1
供气压力监控
2
气体控制面板内配管泄漏确认
3
真空室内真空度到达确认
4
真空室内恢复大气压确认
5
涡轮泵切换用真空压力确认
6
排气处理装置压力监控
压力传感器
VSST(SF/RR/WT/WF)
HS1/HV1
VSHS/VSHT
VCCP
指示计
VSM3B
VMM7(过程输入)
VMM6(过程输入)
清洗水排放压力
压力传感器
VSST(SF/RR/WT/WF)
VPRF(模拟输出)
VPRF(应变式输出)
VF
指示计
VGM5
VSM3B
清洗装置真空干燥压力控制
压力传感器
VESW/VESY
VPNPR(G)(模拟输出)
AS1/AV1
VCCP
指示计
VSM3B
纯水的压力监控
压力传感器
VESV/VESI
VESIM□□A
VPRF(模拟输出)
指示计
VSM3B
VMM7(过程输入)
VMM6(过程输入)
半导体前道工艺研磨时的载荷控制
荷重计
VLS
VLSS-C
指示计
VGM5
VGM
VGM2A/B
后道工艺成型时的载荷监控
荷重计
VLC-G811
VLC-G510A
VU93
指示计
VGM5
VGM
VGM2A/B
VGM4
各种光盘表面研磨时的载荷控制
荷重计
VLS
VLSS-C
指示计
VGM5
VGM
VGM2A/B
各种电子零部件的压力载荷监控
荷重计
VLC-G811
VLC-G510A
VU93
指示计
VLGM4
VGM
VMM7(应变片输入)
VMM6(应变片输入)
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用途示例一览
汽车、工业机械行业用途示例
液压行业用途示例
橡胶成型行业用途示例
钢铁、造纸行业用途示例
半导体及电子行业用途示例
水处理行业用途示例
食品与医疗行业用途示例
土木机械与建筑机械的用途示例