用于半导体行业放大器内置压力传感器
VSHS/VSHT series0.3MPa～20MPa
- 电解抛光表面处理及精密清洗处理
- 支持1/4、 3/8、1/2VCR・UJR接头及公头、母头
- 接液部位材质采用SUS316L(VIM+VAR)的耐腐蚀结构
| 测量介质 | 不会腐蚀SUS316L的各种气体、液体等介质 |
|---|---|
| 测量种类 | 可进行正压、连成压的测量 |
| 测量范围 | 能够在额定容量0.3～20 MPa的范围内指定 此外，还可以在-0.1～1MPa等正负组合压力下进行校准 |
| 输出种类 | 4～20mA(双线式),1～5V,0～5V,0～10V中指定 |
规格
| 精度 | ±0.4%R.C.(0.3MPa:±0.5%R.C.) |
|---|---|
| 温度补偿范围（测量介质温度） | 0～60℃（不可结露、结冰） |
| 动作温度范围（测量介质温度） | 0～80℃（不可结露、结冰） |
| 温度漂移 | ±0.5%R.C./10℃ |
| 允许过载 | 200%R.C.(20MPa:150%R.C.) |
| 泄漏量 | 1×10-10Pa・m³/sec.以下 |
| 受压接液部材质 | SUS316L(VIM+VAR) VIM:真空感应熔炼法 VAR:真空电弧重熔 |
| 密封方法 | 特殊电子束焊接 |
| 接液部表面处理 | 电解抛光(Ra0.25µm以下)及精密清洗 |
| 継手形状 | 支持VCR 1/4・3/8・1/2外螺纹或内螺纹 UJR1/4・3/8・1/2外螺纹或内螺纹 |
| 电缆 | PVC被覆3芯(电流型为2芯)屏蔽 3m(UL标准符合品) 直出式或连接器连接 |
| 质量 | 约280g(包括3m电缆) |
| 配件 | 使用说明书（请指定日文或英文） 试验报告单1份 |
型号选择
| 型号选择 | 核对 | 型号 | 规格 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1.基本型式 | VSHS | 单引入口 | ||||
| VSHT | 双引入口 | |||||
| 2.螺丝尺寸 | 00 | 相当于1/4VCR的整体阳螺纹 | ||||
| 01 | 1/4VCR対応外螺纹 | |||||
| 02 | 3/8VCR対応外螺纹 | |||||
| 03 | 1/2VCR対応外螺纹 | |||||
| 11 | 1/4VCR対応内螺纹 | |||||
| 12 | 3/8VCR対応内螺纹 | |||||
| 13 | 1/2VCR対応内螺纹 | |||||
| 21 | 1/4UJR外螺纹 | |||||
| 22 | 3/8UJR外螺纹 | |||||
| 23 | 1/2UJR外螺纹 | |||||
| 31 | 1/4UJR内螺纹 | |||||
| 32 | 3/8UJR内螺纹 | |||||
| 33 | 1/2UJR内螺纹 | |||||
| 3.模拟输出 | - | - | 输出种类 | 响应频率 | 允许负载电阻 | 耗电量 |
| A2 | 1～5V(3线式) | 50Hz | 100kΩ以上 | 约10mA | ||
| A4 | 0～5V(3线式) | |||||
| A5 | 0～10V(3线式) | |||||
| A6 | 4～20mA(双线式) | 500Ω以下 | 约20mA | |||
| 4.校准量程 | - | - | 额定容量 | 校准量程的指定示例 | ||
| 参照右述 直接填写框内的型号 |
0.3MPa | 0.3MPa (0～0.3)MPa |
能够在额定容量60%以上的指定。 ※额定容量3.5MPa, 10MPa只有100% |
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| 1MPa | 1MPa (0～1)MPa |
|||||
| 3.5MPa | 3.5MPa (0～3.5)MPa |
|||||
| 10MPa | 10MPa (0～10)MPa |
|||||
| 20MPa | 20MPa (0～20)MPa |
|||||
| 5.电缆连接形状 | S | 电缆直出 | ||||
| N | 连接器连接 | |||||
| 6.电缆长度 | 01 | 1m | ||||
| 02 | 2m | |||||
| 03 | 3m 标准 | |||||
| □□ | 4～99m ※请说明所需的m数 m | |||||
| 7.额定容量 | 003 | 0.3MPa | ||||
| 010 | 1MPa | |||||
| 035 | 3.5MPa | |||||
| 100 | 10MPa | |||||
| 200 | 20MPa | |||||
| 8.电源 | 4 | DC24V(只有电流输出) | ||||
| 6 | DC15～24V(只有电压输出) | |||||
| 9.资料 | N | 试验报告单(3点测量)/(标准) | ||||
| T | 溯源文件 (溯源证书, 溯源体系图, 检测报告(3点测量)) |
|||||
| K | 强度计算书 | |||||
| M | 材质单 | |||||
| L | 强度计算书+材质单 | |||||
| W | 溯源文件+强度计算书 | |||||
| Y | 溯源文件+材质单 | |||||
| S | 溯源文件+强度计算书+材质单 | |||||
VSHS 外形尺寸（单位：mm）
VSHT 外形尺寸（单位：mm）
压力传感