半導体産業用クリーン型アンプ内蔵圧力センサ
VSHS/VSHT series0.3MPa～20MPa
- 電解研磨仕上げおよび、精密洗浄処理
- VCR・UJR継手の1/4, 3/8, 1/2およびオネジ・メネジに対応
- 接液部材質にSUS316L(VIM+VAR)を用いた耐腐食構造
| 測定媒体 | 各種ガス・液体などSUS316Lを腐食させない媒体 |
|---|---|
| 測定種類 | 正圧・連成圧の測定が可能 |
| 測定範囲 | 定格容量0.3～20 MPaの範囲でご指定可能です また、-0.1～1MPaなどの連成圧での校正も可能です |
| 出力種類 | 4～20mA(2線式),1～5V,0～5V,0～10Vからご指定ください |
仕様
| 精度 | ±0.4%R.C.(0.3MPa:±0.5%R.C.) |
|---|---|
| 温度補償範囲(測定媒体温度) | 0～60℃(結露、氷結不可) |
| 動作温度範囲(測定媒体温度) | 0～80℃(結露、氷結不可) |
| 温度ドリフト | ±0.5%R.C./10℃ |
| 許容過負荷 | 200%R.C.(20MPa:150%R.C.) |
| リーク量 | 1×10-10Pa・m³/sec.以下 |
| 受圧接液部材質 | SUS316L(VIM+VAR) VIM:真空誘導溶解法 VAR:真空アーク溶解法 |
| シール方法 | 特殊電子ビーム溶接 |
| 接液部表面仕上げ | 電解研磨(Ra0.25μm以下)および精密洗浄 |
| 継手形状 | VCR対応1/4・3/8・1/2オネジまたはメネジ UJR1/4・3/8・1/2オネジまたはメネジ |
| ケーブル | PVC被覆3芯(電流タイプは2芯)シールド 3m(UL規格対応品) 直出しまたはコネクタ接続 |
| 質量 | 約280g(ケーブル3m含む) |
| 付属品 | 取扱説明書1部(和文または英文をご指定ください) 試験成績書1部 |
型式の選択
| 型式選択 | チェック | 型式 | 仕様 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1.基本型式 | VSHS | シングル導入口 | ||||
| VSHT | ダブル導入口 | |||||
| 2.ネジサイズ | 00 | 1/4VCR相当一体オネジ | ||||
| 01 | 1/4VCR対応オネジ | |||||
| 02 | 3/8VCR対応オネジ | |||||
| 03 | 1/2VCR対応オネジ | |||||
| 11 | 1/4VCR対応メネジ | |||||
| 12 | 3/8VCR対応メネジ | |||||
| 13 | 1/2VCR対応メネジ | |||||
| 21 | 1/4UJRオネジ | |||||
| 22 | 3/8UJRオネジ | |||||
| 23 | 1/2UJRオネジ | |||||
| 31 | 1/4UJRメネジ | |||||
| 32 | 3/8UJRメネジ | |||||
| 33 | 1/2UJRメネジ | |||||
| 3.アナログ出力 | - | - | 出力種類 | 応答周波数 | 許容負荷抵抗 | 消費電流 |
| A2 | 1～5V(3線式) | 50Hz | 100kΩ以上 | 約10mA | ||
| A4 | 0～5V(3線式) | |||||
| A5 | 0～10V(3線式) | |||||
| A6 | 4～20mA(2線式) | 500Ω以下 | 約20mA | |||
| 4.校正レンジ | - | - | 定格容量 | 校正レンジの指定例 | ||
| 右記参照 枠内のレンジをそのまま記入 |
0.3MPa | 0.3MPa (0～0.3)MPa |
定格容量の60%以上で ご指定ください。 ※定格容量3.5MPa, 10MPaは 100%のみ |
|||
| 1MPa | 1MPa (0～1)MPa |
|||||
| 3.5MPa | 3.5MPa (0～3.5)MPa |
|||||
| 10MPa | 10MPa (0～10)MPa |
|||||
| 20MPa | 20MPa (0～20)MPa |
|||||
| 5.ケーブル接続形状 | S | ケーブル直出し | ||||
| N | コネクタ接続 | |||||
| 6.ケーブル長さ | 01 | 1m | ||||
| 02 | 2m | |||||
| 03 | 3m 標準 | |||||
| □□ | 4～99m ※必要m数をご指定ください m | |||||
| 7.定格容量 | 003 | 0.3MPa | ||||
| 010 | 1MPa | |||||
| 035 | 3.5MPa | |||||
| 100 | 10MPa | |||||
| 200 | 20MPa | |||||
| 8.電源 | 4 | DC24V(電流出力のみ) | ||||
| 6 | DC15～24V(電圧出力のみ) | |||||
| 9.資料 | N | 試験成績書(3点計測)/(標準) | ||||
| T | トレーサビリティ書類 (トレーサビリティ証明書, トレーサビリティ体系図, 試験成績書(3点計測)) |
|||||
| K | 強度計算書 | |||||
| M | ミルシート | |||||
| L | 強度計算書+ミルシート | |||||
| W | トレーサビリティ書類+強度計算書 | |||||
| Y | トレーサビリティ書類+ミルシート | |||||
| S | トレーサビリティ書類+強度計算書+ミルシート | |||||
VSHS外形寸法（単位：mm）
VSHT外形寸法（単位：mm）
圧力センサ