OEM用「半導体隔膜式および薄膜式圧力センサ」素子/エレメント
OEMエレメント0～700kPa
0～700kPa abs
0～700kPa abs
※OEM生産品の為、ロット30台より承ります
半導体隔膜式圧力センサ素子・エレメント
- お客様のご要求仕様に応じて各種設計・製作が可能
- 材質はハステロイC-22相当、SUS316Lなどで設計・製作が可能
- 高精度0.2%R.C.
- 高耐圧300%
| 測定媒体 | 水・油・ガス等、ハステロイC-22相当+SUS316Lを腐食させない媒体 |
|---|---|
| 測定種類 | 正圧・連成圧・負圧および絶対圧の測定が可能 |
| 測定範囲 | 0～700kPa または 0～700kPa abs |
素子基本仕様
| 非直線性 | ±0.2%R.C. |
|---|---|
| 印加電流 | 1mA |
| オフセット出力電圧 | ±2mV/mA |
| スパン出力電圧 | 85±30mV/mA |
| 入力抵抗 | 4±1.5kΩ(at 25℃) |
| 絶縁抵抗 | 100MΩ以上(DC50V) |
| 許容過負荷 | 300%R.C. |
| 温度補償範囲(測定媒体温度) | 0～70℃(結露、氷結不可) |
| 許容温度範囲(測定媒体温度) | 0～100℃(結露、氷結不可) |
| オフセット温度特性 | ±1%R.C./0～70℃(25℃基準) |
| スパン温度特性 | ±1%R.C./0～70℃(25℃基準) |
| 受圧接液部材質 | ハステロイC-22相当+SUS316L |
| 形状 | 素子およびR1/4・3/8・G1/4・3/8・VCR・スウェージロックの各種 |
型式の選択
| チェック | 仕様 | ||
|---|---|---|---|
| 型式 | 定格圧力 | 最大圧力 | |
| ESG050E | 50kPa | 150kPa | |
| ESG100E | 100kPa | 300kPa | |
| ESG200E | 200kPa | 600kPa | |
| ESG500E | 500kPa | 1500kPa | |
| ESG700E | 700kPa | 1400kPa | |
| ESA050E | 50kPa abs | 150kPa abs | |
| ESA100E | 100kPa abs | 300kPa abs | |
| ESA200E | 200kPa abs | 600kPa abs | |
| ESA500E | 500kPa abs | 1500kPa abs | |
| ESA700E | 700kPa abs | 1400kPa abs | |
半導体隔膜式センサ素子部分・エレメント部分
半導体式センサ素子・センサエレメントのOEM製造
バルコムではセンサ素子部分、またはセンサエレメント部分のOEM供給も行っています。
半導体式のシリコンチップは金属式のチップに比べ、厚いダイアフラムでの製作が可能となり、圧力センサの耐圧性が向上しています。また、センサエレメントでの供給の場合、ハステロイC-22相当やSUS316Lなどの耐腐食性の高い金属ダイアフラムを介して圧力を受ける二重ダイアフラム方式が採用されています。
- 加圧・負圧・連成圧・絶対圧の測定ができる各種センサエレメントの製作が可能
- 直接媒体に接する受圧部材質はハステロイC-22相当、SUS316Lで製作可能なため、耐腐食性能が優れている
- 圧力を検出するシリコンチップのダイアフラムが厚いため、耐圧性能が優れている
素子写真
エレメント例
エレメント形状
圧力センサ