アンプ内蔵圧力センサシリーズのご紹介

半導体産業用クリーン型
アンプ内蔵圧力センサClean type Pressure Transmitter for Semiconducting Industry

VSHS/VSHTseries

0.3MPa〜20MPa
VSHS/VSHT
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電解研磨仕上げおよび、精密洗浄処理
VCR・UJR継手の1/4, 3/8, 1/2およびオネジ・メネジに対応
接液部材質にSUS316L(VIM+VAR)を用いた耐腐食構造

測定媒体 各種ガス・液体などSUS316Lを腐食させない媒体
測定種類 加圧・連成圧の測定が可能
測定範囲 定格容量0.3〜20 MPaの範囲でご指定可能です
また、-0.1〜1MPaなどの連成圧での校正も可能です
出力種類 4〜20mA(2線式),1〜5V,0〜5V,0〜10Vからご指定ください

仕様

精度
Accuracy
±0.4%R.C.(0.3MPa:±0.6%R.C.)
温度補償範囲(測定媒体温度)
Compensated Temperature Range
0〜60℃(結露、氷結不可)
許容温度範囲(測定媒体温度)
Safe Temperature Range
0〜80℃(結露、氷結不可)
温度ドリフト
Temperature Effect
±0.5%R.C./10℃
許容過負荷
Safe Overload Rating
200%R.C.(20MPa:150%R.C.)
リーク量
Leakage
1×10-10Pa・m³/sec.以下
受圧接液部材質
Pressure Port Material
SUS316L(VIM+VAR)
VIM:真空誘導溶解法 VAR:真空アーク溶解法
シール方法
Sealing
特殊電子ビーム溶接
接液部表面仕上げ
Finish(Sensor Part)
電解研磨(Ra0.3μm以下)および精密洗浄
継手形状
Screw type
VCR対応1/4・3/8・1/2オネジまたはメネジ
UJR対応1/4・3/8・1/2オネジまたはメネジ
ケーブル
Cable
PVC被覆4芯(電流タイプは2芯)シールド
3m(UL規格対応品)
直出しまたはコネクタ接続
質量
Mass
約280g(ケーブル3m含む)
付属品
Accessories
取扱説明書1部(和文または英文をご指定ください)
試験成績書1部

型式の選択

型式の選択
型式選択
Selection
チェック
Check
型式
Model
仕様
Specification
1.基本型式
Model
  VSHS シングル導入口
  VSHT ダブル導入口
2.ネジサイズ
Screw Size
  00 1/4VCR相当一体オネジ
  01 1/4VCR対応オネジ
  02 3/8VCR対応オネジ
  03 1/2VCR対応オネジ
  11 1/4VCR対応メネジ
  12 3/8VCR対応メネジ
  13 1/2VCR対応メネジ
  21 1/4UJR対応オネジ
  22 3/8UJR対応オネジ
  23 1/2UJR対応オネジ
  31 1/4UJR対応メネジ
  32 3/8UJR対応メネジ
  33 1/2UJR対応メネジ
3.アナログ出力
Output
- - 出力種類 応答周波数 許容負荷抵抗 消費電流
  A2 1〜5V(3線式) 50Hz 100kΩ以上 約10mA
  A4 0〜5V(3線式)
  A5 0〜10V(3線式)
  A6 4〜20mA(2線式) 500Ω以下 -
4.校正レンジ
Calibration
- - 定格容量 校正レンジの指定例
  右記参照
 枠内のレンジをそのまま記入
0.3MPa 0.3MPa
(0〜0.3)MPa
-0.1〜0.3MPa
(-0.1〜0.3)MPa
  1MPa 1MPa
(0〜1)MPa
-0.1〜1MPa
(-0.1〜1)MPa
  3.5MPa 3.5MPa
(0〜3.5)MPa
-0.1〜3.5MPa
(-0.1〜3.5)MPa
  10MPa 10MPa
(0〜10)MPa
-0.1〜10MPa
(-0.1〜10)MPa
  20MPa 20MPa
(0〜20)MPa
-0.1〜20MPa
(-0.1〜20)MPa
5.ケーブル接続形状
Cable Connection
  S ケーブル直出し
  N コネクタ接続
6.ケーブル長さ
Length(Cable)
  01 1m
  02 2m
  03 3m 標準
  □□ 4〜99m ※必要m数をご指定ください m
7.定格容量
Rated Capacity(R.C.)
  003 0.3MPa
  010 1MPa
  050 5MPa
  100 10MPa
  200 20MPa
8.電源
Power
  4 DC24V(電流出力のみ)
  6 DC15〜24V(電圧出力のみ)
9.資料
Data
  N 試験成績書(3点計測)/(標準)
  T トレーサビリティ書類
※トレーサビリティ書類内訳
1:トレーサビリティ証明書
2:トレーサビリティ体系図
3:試験成績書(3点計測)
  K 強度計算書
  M ミルシート
  L 強度計算書+ミルシート
  W トレーサビリティ書類+強度計算書
  Y トレーサビリティ書類+ミルシート
  S トレーサビリティ書類+強度計算書+ミルシート

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